多成分濃度計(jì)
如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱:
多成分濃度計(jì)
產(chǎn)品型號(hào):
FUD-1 Model-53（專用）
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
FUJI-US富士工業(yè)
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
FUJI-US富士工業(yè) 多成分濃度計(jì) FUD-1 Model-53
該型號(hào)保留了 FUD-1 Model-53 的優(yōu)點(diǎn)，如易于維護(hù)和高精度在線測(cè)量，并采用了緊湊型單元式發(fā)射器，適用于半導(dǎo)體制造工藝。
多成分濃度計(jì)
的詳細(xì)介紹
多組分密度計(jì)的特點(diǎn)
可提供實(shí)時(shí)雙組分密度計(jì)和三組分密度計(jì)
標(biāo)配模擬 4-20 mA DC（2 個(gè)系統(tǒng)）和數(shù)字 RS232C。
標(biāo)配測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出。
標(biāo)配自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示。
小巧輕便的單元式變送器可直接安裝在生產(chǎn)線上。
PFA 潤(rùn)濕部件材料，低輸出設(shè)計(jì)，不受化學(xué)品影響。
應(yīng)用。
CMP 工藝中的 CMP 漿料和氧化劑濃度控制等。
清洗過程中的清洗液濃度控制（HF+HNO3、HF+H2SiF6 等）
蝕刻工藝中的蝕刻液濃度控制（TMAH + 抗蝕劑、TMAH + Si 等）
|
型式
|
FUD-1 Model-53
|
|
|
変換器
|
|
測(cè)量參數(shù)
|
超音波伝播速度?溫度?導(dǎo)電率
|
|
表示
|
LCD（濃度1?濃度2?溫度?音速?導(dǎo)電率/各種パラメータ）
|
|
出力信號(hào)
|
模擬 4-20 mA DC：2 個(gè)系統(tǒng)（可自由設(shè)置濃度值）
數(shù)字 RS232C（濃度 1、濃度 2、聲速、溫度、電導(dǎo)率、錯(cuò)誤代碼）
報(bào)警 上下限 測(cè)量誤差：2 個(gè)系統(tǒng)
|
|
電源
|
AC100V～240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能)
|
|
構(gòu)造
|
面板安裝型（DIN規(guī)格準(zhǔn)拠）
|
|
環(huán)境溫度 変換器
|
0～50℃
|
|
|
RH85%以下（結(jié)露ないこと）
|
|
機(jī)能
|
輸出范圍設(shè)置功能、警報(bào)輸出設(shè)置功能、濃度顯示移動(dòng)平均值功能、濃度顯示偏移和增益設(shè)置功能、自診斷功能、故障**功能、異常值取消功能、溫度時(shí)間常數(shù)補(bǔ)償
|
|
選件
|
溫度出力（DC4～20ｍA)
RS485出力（RS232Cとの同時(shí)出力不可）
|
