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冷卻加熱裝置

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產(chǎn)品名稱: 冷卻加熱裝置

產(chǎn)品型號: NES-363-7

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品品牌: KELK

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

冷卻加熱裝置 的詳細介紹

CHEMICAL CIRCULATOR

半導體制造工藝化學循環(huán)器NES-333-7

通過無金屬離子溶出污染的在線型冷卻加熱器，實現(xiàn)濕法工藝中不可缺少的直接循環(huán)式藥液恒溫裝置

KELK化學循環(huán)器是用于RCA清洗或濕法蝕刻的藥液的溫度高精度控制，在半導體制造的濕法工藝中不可缺少，為沒有的東西得到了廣泛的愛用。近年來使用藥液的多樣化、高兆

為了滿足比特化帶來的清潔度提高的要求，我們進行了進一步的更新。

（注）高溫藥液用時，推薦使用CS加熱器。

特征：

1.冷卻加熱部傳熱接液部件使用高純度的玻璃狀碳，溶出金屬離子

不用擔心會造成污染，也不需要表面保護膜，所以也不會因剝離而能力下降。

2.由于橡膠O形圈是不直接接觸液體密封結(jié)構(gòu)，所以酸性液、堿性液等各藥液

的貼紙材質(zhì)的選定是不需要的。

3.電子冷熱方式，適用于室溫附近的溫度控制且高精度。

4.本裝置符合國際保護標準IP31。

5.裝置包括檢測藥液或冷卻水泄漏的漏液傳感器、檢測異常溫度的溫度

因為內(nèi)置了開關(guān)，所以可以放心使用。

■用途

1.用于半導體制造濕法

藥液的溫度管理

●RCA清洗液

●蝕刻液

●光刻工序的顯影液

2.其他領(lǐng)域的各種藥液的溫度管理

●電鍍液、各種表面處理液、其他

（注）不能使用含有臭氧的藥液。

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KELK冷卻加熱裝置NES-363-7

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