ULVAC RF電源選配件 MEX7N-3k
特點
可以切換多個匹配器。
可以在不同時放電時使用,設(shè)備中安裝的電源的數(shù)量減少,有助于降低設(shè)備的成本。
每個陰極都有一個匹配器,因此可以選擇具有不同阻抗的陰極。
規(guī)格
| 容量帯 | 匹配器切換臺數(shù) | ||||||
| 2臺 | 3臺 | 4臺 | 5臺 | 6臺 | 7臺 | 8臺 | |
| 500, 1kW | MEX2N-1k | MEX3N-1k | MEX4N-1k | MEX5N-1k | MEX6N-1k | MEX7N-1k | MEX8N-1k |
| 3kW | MEX2N-3k | MEX3N-3k | MEX4N-3k | MEX5N-3k | MEX6N-3k | MEX7N-3k | MEX8N-3k |
| 5kW | MEX2N-5k | MEX3N-5k | MEX4N-5k | - | - | - | - |
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